Advanced MOCVD and PLD methods for dielectric materials and study of their properties for application in microelectronics tesi per il conseguimento del titolo

Marco, Viticoli
2005

2005
Inglese
Francesco, Priolo
Giovanni, Marletta
Giuseppina, Padeletti
Università degli Studi di Catania
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14242/224308
Il codice NBN di questa tesi è URN:NBN:IT:UNICT-224308