Process related effects on a-Si/Mo and a-Si(H)/Mo EUV multilayer mirrors grown by RF-magnetron sputtering

Alessandro, Patelli
2004

2004
Inglese
Paolo, Mazzoldi
Valentino, Rigato
Ignazio, Fragalà
Università degli Studi di Catania
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14242/258402
Il codice NBN di questa tesi è URN:NBN:IT:UNICT-258402