Sviluppo di materiali polimerici e delle loro relative tecnologie di trasformazione per la loro integrazione nella realizzazione di microdispositivi elettronici

Obiettivo del presente lavoro di tesi ਠstato l'individuazione e la caratterizzazione di substrati polimerici, alternativi ai convenzionali substrati vetrosi, per la realizzazione di microdispositivi elettronici mediante la tecnologia Polysilicon che si basa sull'utilizzo di materiali semiconduttori a film sottile di silicio policristallino depositati a basse temperature. La riduzione dei costi, del peso e la maggiore robustezza meccanica sono tra i principali vantaggi previsti dall'utilizzo di substrati plastici. Due differenti materiali sono stati investigati: PET e AryLiteâ"¢. Per ogni polimero si ਠproceduto ad una caratterizzazione completa, sia calorimetrica che meccanica, ed alla messa a punto di un trattamento di stabilizzazione dimensionale. Film sottili di silicio amorfo idrogenato sono stati successivamente depositati sui substrati selezionati; il processo di deposizione ਠstato ottimizzato. Si ਠproceduto, quindi, alla cristallizzazione dei suddetti film mediante irradiazione con laser ad eccimeri. Per preservare il substrato polimerico dalla degradazione termica, uno strato di ossido di silicio ਠstato depositato tra lo strato semiconduttivo e il supporto plastico. Un'analisi statica e dinamica agli Elementi Finiti ਠstata, infine, effettuata al fine di simulare la risposta della struttura a sandwich in risposta all'applicazione di diversi carichi. Diverse iterazioni sono state eseguite al fine di determinare un comportamento rappresentativo del dispositivo.