Development of reliable RF-MEMS switches for antennas and space applications

Gli switchMicro-Elettro Meccanici per Radio Frequenza (RF-MEMS) sono tra i dispositivi più promettenti per le future generazioni di network riconfigurabili ad alta frequenza e basso consumo di potenza. Vi sono applicazioni RF in cui un singolo dispositivo MEMS può sostituire e migliorare in termini di prestazioni un intero circuito a stato solido; in altri campi invece, un opportuno connubio fra tecnologia MEMS e dispositivi attivi può portare alla nascita di sistemi di comunicazioni estremamente brillanti e performanti. Infatti, i dispositivi MEMS hanno in loro le potenzialità per sorpassare i limiti delle attuali tecnologie impiegate basate su circuiti integrati. Tuttavia, la mancanza di maturità di una tecnologia così innovativa porta con sé inevitabili problemi affidabilistici. L’obbiettivo di questa tesi è di analizzare l’aspetto affidabilistico degli switch RF MEMS, cominciando da metodi comuni di caratterizzazione e stress, come la caratterizzazione DC e il Cycling stress, fino a test più specifici, come la robustezza a scariche elettrostatiche (ESD) o il monitoraggio di danni indotti da radiazione per la qualificazione dei dispositivi per missioni spaziali.