Ottica ad elevata riflettanza sono utili per molte regioni spettrali. Esse possono essere utilizzati per il controllo del calore solare, facendo in modo che riflettano l’infrarosso lasciando passare la radiazioni visibile per esempio attraversare una finestra. Ottiche altamente riflettenti sono particolarmente utili anche per l'estremo ultravioletto dove sono necessari rivestimenti multistrato oppure rivestimenti singoli costituiti da materiali emergenti. Carburo di boro e il carburo di silicio hanno elevate riflettività e sono e saranno utili per la prossime esplorazioni dell’EUV emesso dal sole. Un altro campo di applicazione è la fotolitografia EUV che sarà il prossimo passo della fotolitografia attuale. Rivestimenti multistrato sottoposti ad ambienti fotolitografici degradano facilmente e per mantenere elevate riflettanze deve essere eseguita una accurata progettazione del film.
High reflective optics for different spectral region
MONACO, GIANNI
2009
Abstract
Ottica ad elevata riflettanza sono utili per molte regioni spettrali. Esse possono essere utilizzati per il controllo del calore solare, facendo in modo che riflettano l’infrarosso lasciando passare la radiazioni visibile per esempio attraversare una finestra. Ottiche altamente riflettenti sono particolarmente utili anche per l'estremo ultravioletto dove sono necessari rivestimenti multistrato oppure rivestimenti singoli costituiti da materiali emergenti. Carburo di boro e il carburo di silicio hanno elevate riflettività e sono e saranno utili per la prossime esplorazioni dell’EUV emesso dal sole. Un altro campo di applicazione è la fotolitografia EUV che sarà il prossimo passo della fotolitografia attuale. Rivestimenti multistrato sottoposti ad ambienti fotolitografici degradano facilmente e per mantenere elevate riflettanze deve essere eseguita una accurata progettazione del film.File | Dimensione | Formato | |
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https://hdl.handle.net/20.500.14242/108310
URN:NBN:IT:UNIPD-108310