UNITesi

Fabrication and characterization of reference nano and micro structures for 3D chemical analysis

DIALAMEH, MASOUD
2019
653. METROLOGIA
8-lug-2019
Inglese
reference material (RM); diblock copolymer (DBC) lithography; reactive ion etch (RIE) at sub 20 nm scale; atom probe tomography (APT); field-of-view in APT; full tip imaging in APT; uncertainty assessment in APT; analysis of organic-inorganic systems by APT
DE LEO, MARIA
BOARINO, LUCA
Politecnico di Torino
262
Politecnico di Torino
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14242/125176
Il codice NBN di questa tesi è URN:NBN:IT:POLITO-125176