Mechanical characterization of epitaxial polycrystalline Si and single crystal Si process application in mems technology

Rossana, Cambié
2004

2004
Inglese
Enrico, Dallago
Giuseppe, Conciauro
Università degli Studi di Pavia
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14242/224596
Il codice NBN di questa tesi è URN:NBN:IT:UNIPV-224596